苏州悠远环境科技有限公司

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作用介绍

    随着技术的不断发展,除了固体颗粒污染物外,化学气体(AMC)对微电子洁净室的影响越来越大。在晶圆、LCD、OLED等各个生产领域,化学气AMC已经成为生产中至关重要的影响因素,(AMC)污染易造成半导体层间结合失效、HEPA降解掺杂物的进入、高接触电阻、T-Topping现象、光学镜头雾状缺陷,以及玻璃表面污染等问题。因此AMC的控制要求也提高到了ppt的级别。
    U-AIR为改善洁净室内AMC化学气体污染,提出了“监控检测”、“现场治理”、“持续提高”的综合解决办法。产品与服务相配套,确保洁净室内空气质量。
 
    ●延长维护周期
    ●强化制程控制、提升良率
    ●优化生产控制
    ●增强产品的可靠性和寿命
    ●提高电子和机械可能性
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